庆祝中科院造出自主芯片

  经过近七年艰苦攻关，“超分辨光刻装备研制”项目通过验收。这意味着，现在中国有了“世界上首台分辨力最高的紫外（即22纳米@365纳米）超分辨光刻装备”。